Ceramic ESC

Ceramic ESC

Ceramic ESC

(주) 파웰 코퍼레이션:
대한민국 경기도 수원시 영통구 덕영대로1556번길 16, C동 602호/E동 1005호(영통동, 영통 디지털엠파이어1) (우) 16690 전화 : 031-206-2612~3 / 팩스 : 031-206-2614

1. AIN ESC with Heater

특징

  • 우수한 온도 균일성
  • 우수한 히터성분 균일성
  • 샤프트 본딩 가능
  • 폭넓은 온도영역과 충분한 흡착력 확보
  • 커스터머 맞춤 제작/히터 설계
  • 전극의 열화에 의한 경시변화 없음

용도 : 반도체 / PVD / etc

크기 : 4'' ~ 12''

2. Pin - Chuck

특징

  • 고정밀 연마
  • 국부 평탄도 제어
  • 웨이퍼 평탄도 제어

용도 : 반도체 / Photo / etc

크기 : 4'' ~ 12''

3. AI2O3 THermal Sprayed ESC

특징

  • 정밀하게 형성된 절연층
  • 경쟁력 있는 가격
  • 높은 내구성

용도 : 반도체 / CVD / Etcher /etc

크기 : 4'' ~ 12''

4. AIN Heater

특징

  • 높은 열 전도율의 AIN 사용
  • 우수한 온도 균일도
  • IR 카메라 및 TC 웨이퍼를 통한 특성검사 시설 보유

용도 : 반도체 / CVD / etc

크기 : 4'' ~ 12''

ESC의 특징

  • 낮은 가격
  • 빠른 디척킹
  • 매설된 헬륨 터널
  • 알루미나 / Coulombic type
  • 낮은 누설 전류 → Device 훼손이 적음

ESC의 분야 및 적용 공정

정전기의 힘을 사용해 기판을 하부 전극에 고정해 주는 핵심 부품. 정전 척(ESC)에 DC 전원('+','-')을 인가시키면 대상물에는 반대의 전위가 대전('-', '+')되고, 대전된 전위에 의하여 서로 끌어당기는 힘이 발생하는 원리

ESC는 정전기적인 힘(Electrostatic force)를 이용하여 반도체 제조 장비 내에서 Wafer를 고정하는 부품으로, 일반적으로 전극의 개수에 따라 Monopolar(Unipolar)와 Bipolar 타입으로 구분되고, 또한 유전층 저항률의 크기에 따라 columb과 Jonsen-Rahb 타입으로 나뉜다.