NCC의 특징

• 독자적인 비 접촉 흡착 기술 : 안정된 부상 특성, Air 소비량이 적다, 저 소음, 무 분진
• 높은 정밀도: 급/흡기 압력 조절에 의한 간격 조정, 고 정밀 평면 유지
• 높은 기본 성능: 저 응력, 강한 파지력, 비 접촉에 의한 청정 유지
• 비접촉 흡착상태로 된 Work는 유체막에 의해 편 하중 없이 균일하게 지지 되어 일정한 간격을 유지, Bearing면에 따라 정밀 평면을 형성
• Work는 Stress 없는 자연스러운 형태로 유지 되며 높은 방향의 변위, 진동을 일으키지 않음

NCC의 용도

• Silicon Wafer Chucking Table
• Silicon Wafer Non Contact End Effect
• Glass 기판 검사 Table

Φ300mm Silicon Wafer Chucking Table

Φ300mm Silicon Wafer Non Contact End Effect

500X400mm Glass 기판 검사 Table

NCC 는 카본 다공질 체를 이용한 정압기체베어링 기술을 기초로 하고 공급된 압력은 다공질 전체로 전해져

베어링 면 전면에서 일정하게 유출 됩니다.

접착 물은 베어링 면에서 미세 간격을 유지하며 부상해서 유체 윤활 상태로 되고 베어링 면에

미세 홀을 만들어 진공 원을 접속하여 흡입 합니다.

부상시키는 힘과 흡입 하는 힘을 동일 평면상에 동시에 발생시켜 균형을 잡는 것으로 비 접촉 흡착 상태를 만들어 냅니다.

이때의 흡착 힘이 유체 막을 강고히 하는 효과를 일으켜 접착 물의 안정성을 높이고 접촉 응력이 없는 자연스러운 형태의 흡착이 형성됩니다.