Porous Carbon Chuck의 특징

• 5μm이하의 균일한 기공사이즈
• 알루미늄 절반무게
• 도전성이 뛰어나 정전기에 효과적
• 대형 Size 대응 가능(~2500mm까지)
• 파티클에 강함
• 정전기 발생 없음

Porous Carbon Chuck의 용도

• 웨이퍼 표면보호 테이프 부착용 테이블
• 웨이퍼 표면보호 테이프 박리용 흡착 테이블
• 웨이퍼 검사 장비용 흡착 테이블
• UV 조사 장치의 흡착 테이블
• 웨이퍼 마운터 장치의 핸들링
• 웨이퍼 세정장치 스피너 헤드
• TSV 프로세스
• 다이싱 공정
• 백그라인드 공정

각종 필터, 고온 내화물, 고온로 치구, 흡수재, 흡음재, 경량구조재, 단열재 등 각종 산업의 기초재료로서 광범위하게 사용 되고 있는 소재로 최근 반도체, LED, PCB, 머시닝 및 디스플레이 생산 분야에서 요구하는 박막 흡착에 따른 고정도 고성능을 가진 진공 흡착 기술에 활용되고있다