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Porous Chuck

Porous Chuck

Porous Chuck


(주) 파웰 코퍼레이션:
대한민국 경기도 수원시 영통구 덕영대로1556번길 16, C동 602호/E동 1005호(영통동, 영통 디지털엠파이어1) (우) 16690 전화 : 031-206-2612~3 / 팩스 : 031-206-2614
  • Porous Chuck의 사양
  • Porous Carbon Chuck의 특징과 용도
  • Porous Carbon Chuck이란?

Porous Carbon Chuck의 특징

  • 5μm이하의 균일한 기공사이즈
  • 알루미늄 절반무게
  • 도전성이 뛰어나 정전기에 효과적
  • 대형 Size 대응 가능(~2500mm까지)
  • 파티클에 강함
  • 정전기 발생 없음

Porous Carbon Chuck의 용도

  • 웨이퍼 표면보호 테이프 부착용 테이블
  • 웨이퍼 표면보호 테이프 박리용 흡착 테이블
  • 웨이퍼 검사 장비용 흡착 테이블
  • UV 조사 장치의 흡착 테이블
  • 웨이퍼 마운터 장치의 핸들링
  • 웨이퍼 세정장치 스피너 헤드
  • TSV 프로세스
  • 다이싱 공정
  • 백그라인드 공정

각종 필터, 고온 내화물, 고온로 치구, 흡수재, 흡음재, 경량구조재, 단열재 등 각종 산업의 기초재료로서 광범위하게 사용 되고 있는 소재로 최근 반도체, LED, PCB, 머시닝 및 디스플레이 생산 분야에서 요구하는 박막 흡착에 따른 고정도 고성능을 가진 진공 흡착 기술에 활용되고있다

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