ARC CONTROL

• 출력 중 ARC 발생 시 출력 차단 및 재 기동
• 반복되는 ARC 발생 시 출력 차단 가능

부하 방전 기능

• 부하를 방전시키기 위해서 출력 Toggle 기능 동작
• 디척킹 기능 설정 가능(Auto Toggle 파형 변경가능)

반도체와 LCD 제조장비의 진공챔버 내부에서 정전기의 힘을 사용해 기판을 하부전극에 고정해주는 핵심부품인정전척(ESC)의전원 공급 장치